SEMICON CHINA 2016 3-17日在上海新國際博覽中心落下帷幕。中山市酷美電子攜公司射頻電源及自動匹配器系列產(chǎn)品參展獲得國內(nèi)外商家的高度關(guān)注與認(rèn)可。在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，在生產(chǎn)芯片、處理器等半導(dǎo)體器件、薄膜太陽能電池、液晶等平板顯示器過程中，都要用到這種電源。是產(chǎn)生等離子體的配套電源,由射頻功率源，阻抗匹配器以及阻抗功率計(jì)組成，是八十年末期在我國新興的高科技領(lǐng)域，應(yīng)用于射頻濺射，PECVD 化學(xué)氣相沉積，反應(yīng)離子刻蝕等設(shè)備中。

在2008年以前射頻電源技術(shù)主要掌握在美、日、德等少數(shù)國家的少數(shù)廠家中，如美國的AE（Advanced Energy）、MKS（MKS Instruments）、日本的DAIHEN、德國的Huettinger等。

在八十年代末期我國雖然引進(jìn)射頻電源的技術(shù)，也嘗試做過研發(fā)生產(chǎn)。但是由于關(guān)鍵技術(shù)無法突破，主要有（固態(tài)晶體管，自動匹配）等技術(shù)限制一直無法生產(chǎn)固態(tài)晶體管的射頻電源及能夠自動匹配的射頻阻抗匹配器。這當(dāng)中尤其以自動匹配更為重中之重。故我國的射頻電源研發(fā)及應(yīng)用一直停步不前。根本無法與國外的射頻電源廠商競爭。

隨著九十年代我國第一臺固態(tài)晶體管誕生，但是射頻自動匹配一直使我們無法突破的屏障。隨著時間的轉(zhuǎn)移2008年中山市格美電子研發(fā)出我國第一臺國產(chǎn)射頻自動匹配器。打破了外國廠商一直壟斷的國內(nèi)市場。隨著這幾年我們不斷的完善與改進(jìn)。K-Mate         射頻電源及自動匹配器越來越多的出現(xiàn)在國內(nèi)的實(shí)驗(yàn)及產(chǎn)線設(shè)備上。并獲得國內(nèi)許多知名企業(yè)及行業(yè)資深人士的認(rèn)可。同時逐步銷往一些東南亞國家。

2016我們整裝待發(fā)，從國內(nèi)走向國際市場